艾里卡特 Alicat MC 系列气体质量流量控制器

2021-08-22

艾里卡特 Alicat Scientific MC 系列气体质量流量控制器

性能极佳的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。艾里卡特 Alicat MC 系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值,并保持该设定值,即使在压力突然增加的情况下,亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保相关产品能快速实现稳定控制。

  • 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
  • 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
  • 耐用。MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。

性能

  • 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
  • 可调比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
  • 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
  • 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
  • 可重复性:0.2%满量程
  • 标准质量流量控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98(MC系列)或130(MCS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 最大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)

包装清单

  • MC系列气体质量流量控制器(电源需另行订购)
  • NIST可溯源校准证书
  • 艾里卡特操作说明书

型号变体

  • 低压损型号,最多60 psia(MCW系列)
  • 高压型号,160-320 psia(MCQ系列)
  • 阀门内置(确保与SEMI端口长度一致)型号(MCE系列)
  • 配备气动截止阀的型号,适合真空应用(MCV系列)
  • 腐蚀性气体型号(MCS系列)

阀门选项

您可以为您的MC系列气体质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持最佳性能。

  • MC系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
  • 具有PCA名称的MC系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
  • MCP系列—选配最大孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
  • MCH系列—选配锤头状配置,将两个小型阀门并排成对,用作一个阀门。
  • MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体(MCS系列)

MC系列气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表主体部分升级为316L材质。

结构选项

  • 通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
  • 显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
  • 工艺连接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头)
  • 弹性体材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)

性能选项

  • 流量累加器
  • 集成式电位计控制
  • 高精度或自定义校准

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MCR-100SLPM-D
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MCR-1000SLPM-D
MCR-1500SLPM-D
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MCR-3000SLPM-D-PAR
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MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
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MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
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MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
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MCHS-10SLPM-D
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MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
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MCRS-250SLPM-D
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