阀门选项

您可以为您的气体质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持性能。

• MCQ系列—选配小型比例控制阀，适用于20 slpm及以下量程
• 具有PCA名称的MCQ系列—选配高性能比例控制阀，适用于压力较高的某些应用
• MCH系列—选配锤头状配置，将两个小型阀门并排成对，用作一个阀门。
• MCR系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体（MCQS系列）

MCQ系列高压气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCQS系列）可供选择。该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程，需采用316L不锈钢，在这种情况下，我们可同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门（PCA型）和流量仪表主体部分升级为316L材质。

结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

MCQ-10SCCM-D
MCQ-20SCCM-D
MCQ-50SCCM-D
MCQ-100SCCM-D
MCQ-200SCCM-D
MCQ-500SCCM-D
MCQ-1SLPM-D
MCQ-2SLPM-D
MCQ-5SLPM-D
MCQ-10SLPM-D
MCQ-20SLPM-D
MCHQ-10SLPM-D
MCHQ-20SLPM-D
MCHQ-50SLPM-D
MCHQ-100SLPM-D
MCHQ-250SLPM-D
MCRQ-50SLPM-D
MCRQ-100SLPM-D
MCRQ-250SLPM-D
MCRQ-500SLPM-D
MCRQ-1000SLPM-D
MCRQ-1500SLPM-D
MCRQ-2000SLPM-D-PAR
MCRQ-3000SLPM-D-PAR
MCRHQ-5000SLPM-D-PAR
MCQS-10SCCM-D
MCQS-20SCCM-D
MCQS-50SCCM-D
MCQS-100SCCM-D
MCQS-200SCCM-D
MCQS-500SCCM-D
MCQS-1SLPM-D
MCQS-2SLPM-D
MCQS-5SLPM-D
MCQS-10SLPM-D
MCQS-20SLPM-D
MCHQS-10SLPM-D
MCHQS-20SLPM-D
MCHQS-50SLPM-D
MCHQS-100SLPM-D
MCHQS-250SLPM-D
MCRQS-50SLPM-D
MCRQS-100SLPM-D
MCRQS-250SLPM-D
MCRQS-500SLPM-D
MCRQS-1000SLPM-D
MCRQS-1500SLPM-D
MCRQS-2000SLPM-D-PAR
MCRQS-3000SLPM-D-PAR
MCRHQS-5000SLPM-D-PAR