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艾里卡特 Alicat MCD 系列双向气体质量流量控制器

2021-08-29

艾里卡特 Alicat Scientific MCD 系列双向气体质量流量控制器

艾里卡特 Alicat MCD系列是双向气体质量流量控制器。这款仪器从一个方向控制流入流动或密闭过程系统的流量，再倒转流向，还能同时完成各个方向流量、压力和温度的多元测量；或者在监控流速的同时利用压力控制功能控制进入密闭过程系统的流量，然后排空，且无需额外排气阀。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保实现对两个方向的快速、稳定的控制。

  • 多功能。利用正压或真空控制一个或者两个方向的流量。或者控制进入流动或端闭过程系统的压力。（下载右侧信息图，了解流量图表。）在所有情况下，均可完成多元测量（包括对质量流量、体积流量、压力和温度的测量）；此外还可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
  • 连接。双向气体质量流量控制器利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
  • 耐用。MCD系列双向气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可为您的流量控制器构建IP66等级防护。

性能

  • 可用量程：-5000至+5000 slpm；-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
  • 标准精度：±（0.8%读数+0.2%满量程），双向
  • 高精度（选配）：±（0.4%读数+0.2%满量程），双向
  • 可重复性：0.2%满量程
  • 标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体：98种（MCD系列）或130种（MCDS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度：-10°C至+60°C
  • 内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
  • 耐受压力：175 psig（190 psia）
  • STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

型号变体

  • 低压损型号，60 psia（MCDW系列）
  • 腐蚀性气体型号（MCDS系列）

阀门选项

您可以为您的MCD系列双向气体质量流量控制器定制以下一种阀门，确保在预期过程条件下保持性能。

  • MCD系列—选配小型比例控制阀，适用于20 slpm及以下量程
  • 具有PCA名称的MCD系列—选配高性能比例控制阀，适用于压力较高的某些应用
  • MCPD系列—选配大孔径的小型比例控制阀（对耐腐蚀系列产品不适用）
  • MCRD系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀，适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体（MCDS系列）

MCD标准系列仪表中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCDS系列）可供选择。该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程，需采用316L不锈钢，在这种情况下，我们可以同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门（PCA型）和流量仪表的主体部分升级为316L材质。

MCD-0.5SCCM-D
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Alicat MCD bidirectional mass flow controller, shown with IPC option

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