性能
- 可用量程:最大-5000至+5000 slpm;最小-0.5至 +0.5 sccm/-500 sμlm至500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号)
- 标准精度:±(0.8%读数+0.2%满量程),双向
- 高精度(选配):±(0.4%读数+0.2%满量程),双向
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
艾里卡特 Alicat Scientific MCDW 系列低压损双向气体质量流量控制器
Whisper系列双向质量流量控制器非常适用于在几乎没有可用系统压力的情况下控制质量流量和体积流量。低压损将保证对系统产生最小影响,实现接近大气压力条件下的流量控制并缩短系统响应时间。艾里卡特MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器在非常全能的MCD系列双向流量控制器基础上增加了低压损优点。
MCDW系列低压损双向气体质量流量控制器从一个方向控制流入流动或密闭过程系统的流量,再倒转流向,还能同时完成各个方向流量、压力和温度的多元测量;或者在监控流速的同时利用压力控制功能控制进入密闭过程系统的流量,接着排空,且无需额外排气阀。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保实现对两个方向的快速、稳定的控制。