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艾里卡特 Alicat MCE/ MCV 系列真空气体质量流量控制器

2021-08-29

艾里卡特 Alicat Scientific MCE/ MCV 系列真空气体质量流量控制器

Alicat MCE / Alicat MCV 系列真空气体质量流量控制器是真空专用设备。Alicat MCE系列产品的特征如下：与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快，外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。

Alicat MCV和Alicat MCE联系紧密，采用内置气动截止阀，适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上，防止在设定点为零时出现污染情况。

  • 多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
  • 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
  • 耐用。Alicat MCE和Alicat MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。

性能

  • 可用量程：最大0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
  • 可调比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
  • 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
  • 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
  • 可重复性：0.2%满量程
  • 标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
  • 气动阀漏气率（仅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（最大值，氦气）
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体：98种（MCE/MCV系列）或130种（MCES/MCVS系列）预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度：-10°C至+60°C
  • 最大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
  • 耐受压力：175 psig（190 psia）
  • STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

型号变体

  • 阀门内置（确保与SEMI端口长度一致）型号（MCE系列）
  • 阀门内置并加装气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）
  • 腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）

阀门选项

您可以为您的质量流量控制器定制以下一种阀门，以确保在预期过程条件下保持性能。

  • MCE系列—选配外部安装的小型比例控制阀
  • MCV系列—选配内部安装的小型比例控制阀以及外部下游安装的气动截止阀

腐蚀性气体（MCES和MCVS系列）

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MCES和MCVS系列）可供选择。在该配置中，我们将阀门升级为303不锈钢阀门，传感器升级为316L不锈钢传感器，弹性体材料升级为FFKM。

结构选项

  • 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
  • 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
  • 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO配件）
  • 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

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Alicat MCE gas mass flow controller

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