艾里卡特 Alicat MCE/ MCV 系列真空气体质量流量控制器

2021-08-29

艾里卡特 Alicat Scientific MCE/ MCV 系列真空气体质量流量控制器

Alicat MCE / Alicat MCV 系列真空气体质量流量控制器是真空专用设备。Alicat MCE系列产品的特征如下:与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快,外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。

Alicat MCV和Alicat MCE联系紧密,采用内置气动截止阀,适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上,防止在设定点为零时出现污染情况。

  • 多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
  • 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
  • 耐用。Alicat MCE和Alicat MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。

性能

  • 可用量程:最大0-20 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
  • 可调比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)
  • 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
  • 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
  • 可重复性:0.2%满量程
  • 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
  • 气动阀漏气率(仅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(最大值,氦气)
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98种(MCE/MCV系列)或130种(MCES/MCVS系列)预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 最大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)
  • STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)

型号变体

  • 阀门内置(确保与SEMI端口长度一致)型号(MCE系列)
  • 阀门内置并加装气动截止阀的型号,适合真空应用(MCV系列)
  • 腐蚀性气体型号(MCS系列,见下文)

阀门选项

您可以为您的质量流量控制器定制以下一种阀门,以确保在预期过程条件下保持性能。

  • MCE系列—选配外部安装的小型比例控制阀
  • MCV系列—选配内部安装的小型比例控制阀以及外部下游安装的气动截止阀

腐蚀性气体(MCESMCVS系列)

MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCES和MCVS系列)可供选择。在该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。

结构选项

  • 通讯协议(模拟通讯,RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS)
  • 显示屏(单色或彩色,内置或面板安装)
  • 工艺连接件(NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO配件)
  • 弹性体材料(氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂)

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Alicat MCE gas mass flow controller