艾里卡特 Alicat MCT 系列换流型气体质量流量控制器

2021-08-29

艾里卡特 Alicat Scientific MCT 系列换流型气体质量流量控制器

MCT系列换流型气体质量流量控制器可以减少库存并清理工作场所。位于上游的两个阀门允许切换气源。位于下游的两个阀门允许在单个气源上运行两个独立的过程系统。我们将根据您的应用参数,为您定制阀门和PID功能,确保实现各个方向的快速、温度控制。

  • 多功能。MCT系列换流型气体质量流量控制器将单个气源用于两个独立的过程系统或者在单个过程系统中实现两个独立气源的切换。切换气源时,选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
  • 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
  • 耐用。MCT系列换流型气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的流量控制器构建IP66等级防护。

性能

  • 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
  • 可调比:200:1(MCT系列)或者100:1(MCTS系列)
  • 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
  • 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
  • 可重复性:0.2%满量程
  • 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
  • 无需预热时间

工作条件

  • 兼容气体:98种(MCT系列)或130种(MCTS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
  • 工作温度:-10°C至+60°C
  • 最大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
  • 耐受压力:175 psig(190 psia)
  • STP/NTP:用户可选(默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)

型号变体

  • 切换阀位于上游的型号(MCT)
  • 切换阀位于下游的型号(加法器码中带DS的MCT)
  • 切换阀位于上游和下游的型号(MCT4)
  • 腐蚀性气体专用型号(MCTS系列)

阀门选项

您可为您的质量流量控制器定制以下一种阀门,确保在预期过程条件下保持性能。

  • MCT系列—选配小型比例控制阀,适用于20 slpm及以下量程
  • 具有PCA名称的MCD系列—选配高性能比例控制阀,适用于压力较高的某些应用
  • MCPT系列—选配最大孔径的小型比例控制阀(对耐腐蚀系列产品不适用)
  • MCRT系列—选配几乎无摩擦的大型Rolamite比例阀,适用于50 slpm及以上流量

腐蚀性气体(MCTS系列)

MCT标准系列仪表中,还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置(即MCTS系列)可供选择。该配置中,我们将阀门升级为303不锈钢阀门,传感器升级为316L不锈钢传感器,弹性体材料升级为FFKM。对于某些腐蚀性气体的整个流程,需采用316L不锈钢,在这种情况下,我们可同时将满量程为20slpm或更小流量计的阀门(PCA型)和流量仪表的主体部分升级为316L材质。

MCT-0.5SCCM-D
MCT-1SCCM-D
MCT-2SCCM-D
MCT-5SCCM-D
MCT-10SCCM-D
MCT-20SCCM-D
MCT-50SCCM-D
MCT-100SCCM-D
MCT-200SCCM-D
MCT-500SCCM-D
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MCTS-20SLPM-D

Alicat MCT stream-switching mass flow controller