性能
- 可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,请参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(MCT系列)或者100:1(MCTS系列)
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
- 无需预热时间
艾里卡特 Alicat Scientific MCT 系列换流型气体质量流量控制器
MCT系列换流型气体质量流量控制器可以减少库存并清理工作场所。位于上游的两个阀门允许切换气源。位于下游的两个阀门允许在单个气源上运行两个独立的过程系统。我们将根据您的应用参数,为您定制阀门和PID功能,确保实现各个方向的快速、温度控制。