性能
- 可用量程:最大0-1000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
- 可调比:200:1
- 标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
- 高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
- 可重复性:0.2%满量程
- 标准控制器响应时间常数:5-10ms
- 无需预热时间
艾里卡特 Alicat Scientific MW 系列低压损气体质量流量计
Whisper系列低压损气体质量流量计非常适用于测量质量流量和体积流量的仪表。低压损将保证系统影响最小,实现接近大气压力或者几乎没有系统压力条件下的流量测量。这款流量计流量量程跨度极宽且内置多种气体校准,因此可工作较长时间。